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一种一体式晶圆出货影像留存设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610225525.4
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2016-04-11
  • 申请人:
    安徽晶新微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种一体式晶圆出货影像留存设备
申请号CN201610225525.4申请日期2016-04-11
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-06-15公开/公告号CN105679697A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人安徽晶新微电子有限公司申请人地址
安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽超元半导体有限公司当前权利人安徽超元半导体有限公司
发明人沈顺金;王印玺;郑李
代理机构合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)代理人王林
摘要
本发明公开了一种一体式晶圆出货影像留存设备,包括静电操作台、金属挡板、摄像设备、静电纸和放置区域;所述金属挡板有三块,分别沿静电操作台的工作面的三条边垂直向上设置,所述摄像设备分别设置在各个金属挡板的顶部,所述放置区域凸起设置在静电操作台的工作面上,所述静电纸设置于所述放置区域内。本发明的晶圆出货包装完毕,将其放入本设备中,刷入此批次晶圆后既可实现自动三维拍照,三维照片上将储存该批次信息以便追溯,结构简单,使用方便。

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