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衍射光学元件及计测装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210053167.5
  • IPC分类号:G02B5/18;G01B11/25
  • 申请日期:
    2012-03-02
  • 申请人:
    旭硝子株式会社
著录项信息
专利名称衍射光学元件及计测装置
申请号CN201210053167.5申请日期2012-03-02
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-09-05公开/公告号CN102654590A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/18IPC分类号G;0;2;B;5;/;1;8;;;G;0;1;B;1;1;/;2;5查看分类表>
申请人旭硝子株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人AGC株式会社当前权利人AGC株式会社
发明人宫坂浩司
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人高培培;车文
摘要
本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

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