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预抽阀通真空室口内嵌套金属管

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621234649.0
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2016-11-17
  • 申请人:
    上海域申光电科技有限公司
著录项信息
专利名称预抽阀通真空室口内嵌套金属管
申请号CN201621234649.0申请日期2016-11-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人上海域申光电科技有限公司申请人地址
上海市嘉定区华亭镇华高路333号5幢1层A区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海域申光电科技有限公司当前权利人上海域申光电科技有限公司
发明人付小燕;林喜锋;聂旭光
代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)代理人赵朋晓
摘要
本实用新型公开了一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管,包括金属管体,所述金属管体的一端设置有环形的外延部,其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部,该封闭部的中心设置有通孔;所述通孔的直径为L,10mm≤L≤15mm。本实用新型的内嵌套金属管设置于预抽管道通往真空室入口处,可使预抽时产生空气旋流由大变小,不至于让真空室气体产生漩涡,使真空室在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度,使光学镜片表面保持清洁状态,保证了镜片的外观质量。

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