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一种内循环冷却抛光盘

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910083720.8
  • IPC分类号:B24D7/10;B24B29/00
  • 申请日期:
    2009-05-07
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称一种内循环冷却抛光盘
申请号CN200910083720.8申请日期2009-05-07
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-10-07公开/公告号CN101549484
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24D7/10IPC分类号B;2;4;D;7;/;1;0;;;B;2;4;B;2;9;/;0;0查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
天津市津南区海河科技园区聚兴道9号,8号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华海清科股份有限公司当前权利人华海清科股份有限公司
发明人路新春;赵德文;王同庆;雒建斌
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人童晓琳
摘要
本发明公开了属于抛光设备技术领域的一种内循环冷却抛光盘。该抛光盘主要由组合式抛光盘、旋转接头、内部管路系统和外部管路系统构成,组合式抛光盘由上盘和下盘组成,下盘上设置循环螺旋沟槽,包括进液螺旋沟槽和回液螺旋沟槽,两螺旋沟槽相互交错并成中心对称,两螺旋沟槽在最外圈汇合,进液螺旋沟槽的起始点设置通螺纹孔作为入水口,回液螺旋沟槽的起始点设置通螺纹孔作为出水口,下盘和上盘在外沿用螺栓联接,在组合式抛光盘内部形成循环沟槽。本发明的螺旋形循环沟槽易于加工,由于槽为中心对称结构,不影响整个盘的动平衡,冷却槽的入口和出口均设在抛光盘的中部,实现冷却液从抛光盘中部入、中部出的循环冷却,便于管路系统的布置。

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