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使用加热源组合的脉冲式处理半导体加热方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810168396.5
  • IPC分类号:H01L21/324;C30B33/02;F27B17/00
  • 申请日期:
    2003-03-19
  • 申请人:
    马特森技术有限公司
著录项信息
专利名称使用加热源组合的脉冲式处理半导体加热方法
申请号CN200810168396.5申请日期2003-03-19
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-03-25公开/公告号CN101392409
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/324IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;4;;;C;3;0;B;3;3;/;0;2;;;F;2;7;B;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人马特森技术有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人玛特森技术公司,北京屹唐半导体科技股份有限公司当前权利人玛特森技术公司,北京屹唐半导体科技股份有限公司
发明人保罗·J·蒂曼斯;纳拉辛哈·阿查里雅
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人潘士霖;高少蔚
摘要
用于加热诸如半导体基片的对象的脉冲式处理方法和系统的特色在于用于以下的过程控制:对单个基片的多脉冲处理或对具有不同物理特性的不同基片的单脉冲或多脉冲处理。在背景加热模式期间,热以可控制的方式被施加给对象(36),由此选择性地加热对象(36)以在背景加热期间至少产生整个对象上的温升。对象(36)的第一表面是在脉冲式加热模式下通过使其经历能量的至少第一脉冲来加热的。背景加热被以与第一脉冲的定时关系来控制。对第一能量脉冲的对象的第一温度响应可被感测并且被用于建立用于至少第二能量脉冲的第二组脉冲参数以至少部分地产生目标条件。

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