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气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680011950.1
  • IPC分类号:F16C32/06B65G49/06H01L21/677H01L21/683
  • 申请日期:
    2016-02-12
  • 申请人:
    株式会社日本制钢所
著录项信息
专利名称气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法
申请号CN201680011950.1申请日期2016-02-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-11-28公开/公告号CN107407329A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F16C32/06IPC分类号F16C32/06;B65G49/06;H01L21/677;H01L21/683查看分类表>
申请人株式会社日本制钢所申请人地址
日*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社日本制钢所当前权利人株式会社日本制钢所
发明人铃木祐辉;谷川贞夫
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人胡曼
摘要
具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A),所述气体下方喷出部(2A)设置于,对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(100),使所述气体从所述板状工件(100)的上方向下方喷出从而施加压力的位置,在对板状工件进行上浮支承之际,能进行上浮量均匀并且高平面度地支承。

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