一种降低基板处理设备能耗的方法和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200910088733.4
IPC分类号：H01L21/00
申请日期：
2009-07-10
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	一种降低基板处理设备能耗的方法和系统
申请号	CN200910088733.4	申请日期	2009-07-10
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-09	公开/公告号	CN101599422
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	易璨
代理机构	北京润泽恒知识产权代理有限公司	代理人	苏培华

摘要

本发明提供了一种降低基板处理设备能耗的方法及系统，能够降低基板处理设备的整体能耗。所述方法包括统计预热腔加热所需的时间T1，以及反应腔执行工艺和传出载板所需的时间T2；其中，T2＞T1；反应腔开始工艺后，根据时间T1和T2延迟预热腔加热系统的启动时机，使预热腔加热到设定温度后及时传出载板到反应腔，从而避免了出现预热腔等待反应腔的过程，也避免了加热系统在这个过程中一直在工作造成的加热能耗，降低了PECVD设备的整体能耗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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