化学气相沉积的排气处理回收的方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN01123256.0
IPC分类号：--
申请日期：
2001-07-23
申请人：
日本酸素株式会社;大见忠弘

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法律信息

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著录项信息

专利名称	化学气相沉积的排气处理回收的方法及装置
申请号	CN01123256.0	申请日期	2001-07-23
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-02-26	公开/公告号	CN1398661
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本酸素株式会社;大见忠弘	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本酸素株式会社,大见忠弘	当前权利人	日本酸素株式会社,大见忠弘
发明人	石原良夫;大见忠弘
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	巫肖南

摘要

一种化学气相沉积(CVD)排气的处理回收方法及装置，是将化学气相沉积排气中所含有的原料气体或中间产物转化反应成高挥发性的卤化物，以防止排气系统管路的附着、堆积、可将具有再利用价值的资源进行分离回收、以及减少保养维护。将化学气相沉积排气中所含有的原料气体与中间产物进行分解处理或转化反应处理，待一部分分解后，即进行氢卤化硅气体与氯化氢的分离回收。又，原料气体及中间产物也可完全分解成氯化氢再进行回收。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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