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净化装置以及净化方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480074707.5
  • IPC分类号:H01L21/673;B65D85/86;B65G1/00
  • 申请日期:
    2014-12-17
  • 申请人:
    村田机械株式会社
著录项信息
专利名称净化装置以及净化方法
申请号CN201480074707.5申请日期2014-12-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-09-14公开/公告号CN105940487A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;B;6;5;D;8;5;/;8;6;;;B;6;5;G;1;/;0;0查看分类表>
申请人村田机械株式会社申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人村田机械株式会社当前权利人村田机械株式会社
发明人村田正直;山路孝
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人徐冰冰;刘杰
摘要
净化装置(30)是利用净化气体对收纳有被收纳物的收纳容器(50)的内部进行净化处理的净化装置(30),具备:通过连接于收纳容器的排出口而将收纳容器内部的净化气体排出的排出管(33);测定实施净化处理时在排出管(33)中流动的净化气体的流量即排气流量的测定部(39);以及基于利用测定部(39)测定到的排气流量判定净化处理是否良好的判定部(43)。

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