纳米尺度的微型温度传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200520023352.5
IPC分类号：G01K7/22;B81B7/00
申请日期：
2005-01-13
申请人：
中国电子科技集团公司第十三研究所

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著录项信息

专利名称	纳米尺度的微型温度传感器
申请号	CN200520023352.5	申请日期	2005-01-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K7/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K7/00 以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量（给出除温度瞬时值之外其他结果的入G01K 3/00） G01K7/16 利用电阻元件 G01K7/22 元件为非线性电阻，例如，热敏电阻（G01K 7/26优先）	IPC分类号	G;0;1;K;7;/;2;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第十三研究所	申请人地址	河北省石家庄市合作路113号179信箱38分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第十三研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第十三研究所
发明人	杨拥军;徐淑静;吕树海
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种纳米尺度的微型温度传感器，涉及传感器领域中的一种测量温度的传感器器件。它由硅腔体、下层氮化硅膜层、上层氮化硅膜层、粘附层、温敏电阻层、导电层、悬臂梁、二氧化硅膜层构成。它采用微机械加工工艺制作温敏电阻层作为测量温度的敏感元件，周围环境温度的变化引起其阻值的变化，达到测量温度，作为传感器的目的。本实用新型还具有体积极小、温度测量范围极宽、结构简单、重量轻、热容量小、响应速度快、线性度好、功耗低、可靠性高、一致性好、成本低等特点。特别适用于微流体传感器等要求体积较小的场合作为精确温度测量及IC芯片、传感器芯片等嵌入式在片温度测量的传感器装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN104792378A	2014-01-17	2014-01-17	红外气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法有效专利	无锡华润上华半导体有限公司
2	CN102507035A	2011-11-17	2011-11-17	微小空间内温度精确测量装置及探头和测温方法有效专利	山东省科学院能源研究所
3	CN102564624B	2011-12-29	2011-12-29	一种微机械温度传感器结构失效专利	东南大学
4	CN102564624A	2011-12-29	2011-12-29	一种微机械温度传感器结构失效专利	东南大学
5	CN102507035B	2011-11-17	2011-11-17	微小空间内温度精确测量装置及探头和测温方法有效专利	山东省科学院能源研究所
6	CN102564623A	2011-12-29	2011-12-29	一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构无效专利	东南大学
7	CN104792378B	2014-01-17	2014-01-17	红外气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法有效专利	无锡华润上华科技有限公司

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