干型高电位测试器以及太阳模拟工具

发明专利无效专利

申请号：
CN200910163371.0
IPC分类号：G01R31/36;G01R19/00;H01L31/18
申请日期：
2009-07-06
申请人：
应用材料股份有限公司

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著录项信息

专利名称	干型高电位测试器以及太阳模拟工具
申请号	CN200910163371.0	申请日期	2009-07-06
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-12	公开/公告号	CN101943744A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/36 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/36 用于测试蓄电池或电池的电气状况的仪器，如用于测试容量或充电状态的仪器（与测量、检测或指示状态的装置相结合的蓄电池入H01M 10/48）〔3〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;3;6;;;G;0;1;R;1;9;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	应用材料股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	彼特·王;哈里·史密斯·怀特赛尔三世;丹尼·卡姆·陆;苏杰发;迈克尔·马里奥特;马学洪;李晓宁;凌杰
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国

摘要

一种用于测试光伏基板的方法和装置将基板放置在具有连接点的支架台架上，比如真空吸盘。该台架被致动到测试位置处。耦合到台架的探针套具连接到基板上的接线盒。电源将电压施加到接线盒，受到致动的框架接触基板的边缘区域以检测任何击穿电流。受到致动的框架包括用于将与基板边缘的接触最大化的衬垫。衬垫可以是导电的，或者可以具有导电表面。与框架的导电衬垫耦合的电流传感器检测任何击穿电流。太阳光谱模拟器提供用于测试基板光伏特性的太阳光谱辐射。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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