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一种碳纳米管阵列生长方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN02134776.X
  • IPC分类号:C01B31/02
  • 申请日期:
    2002-09-17
  • 申请人:
    清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
著录项信息
专利名称一种碳纳米管阵列生长方法
申请号CN02134776.X申请日期2002-09-17
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2004-03-24公开/公告号CN1483668
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B31/02IPC分类号C;0;1;B;3;1;/;0;2查看分类表>
申请人清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司申请人地址
北京市海淀区清华大学物理系 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,北京富纳特创新科技有限公司当前权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,北京富纳特创新科技有限公司
发明人姜开利;范守善;李群庆
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种碳纳米管阵列生长方法,包括以下布骤:提供一平滑基底,将催化剂沉积于该基底表面,将沉积有催化剂的基底在气体保护下加热至一特定温度后通入碳源气与保护气体的混合气体,控制该混合气体的流速及流量比,使催化剂温度与环境温度温差在50℃以上,且使碳源气的分压低于20%,反应5-30分钟使碳纳米管阵列从基底长出。该碳纳米管阵列中的碳纳米管呈束状。

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