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吸附装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910224424.5
  • IPC分类号:C03B33/03
  • 申请日期:
    2009-11-20
  • 申请人:
    孙月卫
著录项信息
专利名称吸附装置
申请号CN200910224424.5申请日期2009-11-20
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2011-05-11公开/公告号CN102050566A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B33/03IPC分类号C;0;3;B;3;3;/;0;3查看分类表>
申请人孙月卫申请人地址
中国台湾台北市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人孙月卫当前权利人孙月卫
发明人陈瑞玺;孙立璇;曾世明
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人逯长明
摘要
本发明是关于一种吸附装置,连接一低气压源,并用以吸附一基板。吸附装置包含一吸附本体及一气压控制装置。吸附本体包含一平面及多个孔洞,其中平面具有一分布范围,并适以与基板接触。该些孔洞是形成于平面上并实质上平均分布于平面的分布范围内。气压控制装置依控制气动连接低气压源与该些孔洞。当基板与平面接触并且气压控制装置气动连接该些孔洞与低气压源时,基板与吸附本体相互稳固。

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