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用于微电子器件的互连结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780053467.4
  • IPC分类号:H01L25/07;H01L23/485;H01L23/535
  • 申请日期:
    2017-08-09
  • 申请人:
    英特尔IP公司
著录项信息
专利名称用于微电子器件的互连结构
申请号CN201780053467.4申请日期2017-08-09
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2019-04-16公开/公告号CN109643708A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L25/07IPC分类号H;0;1;L;2;5;/;0;7;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;5;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;5查看分类表>
申请人英特尔IP公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英特尔公司当前权利人英特尔公司
发明人K.赖因鲁贝尔;A.沃尔特;G.赛德曼;T.瓦格纳;B.魏德哈斯
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人徐红燕;刘春元
摘要
一种微电子封装,其具有被耦合在重分布层(108)的相对侧上并且至少部分地与彼此重叠的两个半导体管芯。半导体管芯中的至少第一个包括接触部的两个集合,所述接触部的第一群组以比接触部的第二群组更小的相对于彼此的节距而被布置。以较大节距的接触部的第一群组被安置以接合重分布层(108)中的接触部。以较小节距的接触部的第二群组被安置以接合第二半导体管芯上以相同节距的相应接触部。

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