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*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

整体式蒸发源电极

实用新型无效专利

申请号：
CN92203469.9
IPC分类号：--
申请日期：
1992-02-26
申请人：
华新水泥厂

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	整体式蒸发源电极
申请号	CN92203469.9	申请日期	1992-02-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	华新水泥厂	申请人地址	湖北省黄石市黄石大道3*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华新水泥厂	当前权利人	华新水泥厂
发明人	龚德明;何峰
代理机构	黄石市专利事务所	代理人	王敏

摘要

整体式蒸发源电极，涉及真空金属蒸发镀膜工艺及其设备。目前使用的分体式电极因其结构复杂，电热特征差很难在实际中应用。本实用新型提出的整体式电极为T形圆柱体，下部钻有水冷孔，上部横切有蒸发舟槽，一体化设计，满足了镀膜工艺要求，极大延长电极寿命，具有成本低、效果好等优点。

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