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一种提高ITOfilm膜sensor在FOG热压稳定的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310184972.6
  • IPC分类号:C23C14/58;C23C14/08
  • 申请日期:
    2013-05-20
  • 申请人:
    晟光科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种提高ITOfilm膜sensor在FOG热压稳定的方法
申请号CN201310184972.6申请日期2013-05-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2013-09-25公开/公告号CN103320761A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/58IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8查看分类表>
申请人晟光科技股份有限公司申请人地址
安徽省蚌埠市迎宾大道958号院内1号厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人蚌埠华特科技有限公司当前权利人蚌埠华特科技有限公司
发明人周朝平;张磊;肖新煌;林钟泉
代理机构安徽合肥华信知识产权代理有限公司代理人余成俊
摘要
本发明公开了一种提高ITO film膜sensor在FOG热压方法,包括以下步骤:在ITO film膜来料后生产前先做高压恒温处理,使ITO film在用特殊材料铜制作的消泡机中高压恒温环境下保持一定时间,让ITO film在高压恒温的环境里面充分的膨胀很收缩使其达到一个稳定的效果,然后在用APR树脂溶剂进行清洗干净同时也使其收缩性能更加稳定,在按照ITO film上面的sensor图形裁切成大小的sensor去FOG热压作业,这个可以大大的提高ITO film膜在热压不稳定问题,FOG热压后的良品可以直接流到下一道工序进行作业。通过本发明的方法可以有效的在短时间内消除ITO film膜收缩膨胀不稳定现象提高生产效率,降低人工成本,解决产线一直存在ITO film膜sensor热压压合偏位的问题。

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