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一种测序用微流控芯片的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510204427.8
  • IPC分类号:B01L3/00;B81C1/00
  • 申请日期:
    2015-04-28
  • 申请人:
    北京中科紫鑫科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种测序用微流控芯片的制备方法
申请号CN201510204427.8申请日期2015-04-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-07-15公开/公告号CN104772169A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01L3/00IPC分类号B;0;1;L;3;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人北京中科紫鑫科技有限责任公司申请人地址
北京市大兴区亦庄经济技术开发区科创六街88号北京中科紫鑫科技有限责任公司 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京中科紫鑫科技有限责任公司当前权利人北京中科紫鑫科技有限责任公司
发明人陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明属于生物医学工程设备制造技术和相关器件领域,具体涉及一种测序用微流控芯片的制备方法。步骤1:取一单面抛光的基片;步骤2:以N,N?二甲基甲酰胺水浴,水冲洗;吹片烘干;步骤3:在芯片抛光面上涂光刻胶,通过曝光在表面形成反应池图形;步骤4:使用干法刻蚀,形成反应池;步骤5:以N,N?二甲基甲酰胺水浴,以硫酸双氧水混合溶液浸泡,水冲洗;步骤6:完成芯片的制备。本发明避免了杂质或者污物对测序反应的干扰,保证了测序的准确度和效率。

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