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铰接式探头

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910005104.0
  • IPC分类号:G01B7/016;G01B11/00
  • 申请日期:
    2004-09-22
  • 申请人:
    瑞尼斯豪公司
著录项信息
专利名称铰接式探头
申请号CN200910005104.0申请日期2004-09-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-07-01公开/公告号CN101469966
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B7/016IPC分类号G;0;1;B;7;/;0;1;6;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人瑞尼斯豪公司申请人地址
英国格洛斯特郡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人瑞尼斯豪公司当前权利人瑞尼斯豪公司
发明人戴维·罗伯特·麦克默特里;若弗雷·麦克法兰;赖清河;斯蒂芬·詹姆斯·特鲁尔;尼古拉斯·约翰·韦斯顿
代理机构北京明和龙知识产权代理有限公司代理人郁玉成
摘要
一种校准铰接式探头的方法,包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤,其中,所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量,从而确定其真实尺寸,其中,所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁,以锁定所述铰接式探头的轴。

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