测试装置和测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410081192.3
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2014-03-06
申请人：
上海华虹宏力半导体制造有限公司

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著录项信息

专利名称	测试装置和测试方法
申请号	CN201410081192.3	申请日期	2014-03-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-18	公开/公告号	CN103869232A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	当前权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司
发明人	桂伟;索鑫
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	骆苏华

摘要

一种测试装置和测试方法，其中测试装置包括：测试机，所述测试机用于对待测晶圆的待测管芯进行测试；探针卡，所述探针卡包括探针、以及与探针相邻排列的擦除区，所述探针用于将待测晶圆的待测管芯与测试机电连接，所述擦除区包括位于探针一侧的第一擦除区、以及位于探针另一侧的第二擦除区。采用本发明提供的测试装置进行一次可编程器件的晶圆测试，探针卡包括相邻排列的第一擦除区、探针、以及第二擦除区，在对待测晶圆的待测管芯测试之前或之后，位于探针卡内的第一擦除区和第二擦除区可对待测管芯进行测试前紫外擦除或测试后紫外擦除，避免将待测晶圆移动至专门的擦除区域，大大的减少了测试所需的时间，有效的提高了测试效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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