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集成有天线的波导光电探测器及系统、发送信号的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202210935803.0
  • IPC分类号:H01L31/02;H01L31/0232;H01L27/144;H01Q1/22
  • 申请日期:
    2022-08-04
  • 申请人:
    赛丽科技(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称集成有天线的波导光电探测器及系统、发送信号的方法
申请号CN202210935803.0申请日期2022-08-04
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-04公开/公告号CN115295633A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/02IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;2;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4;4;;;H;0;1;Q;1;/;2;2查看分类表>
申请人赛丽科技(苏州)有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴中区太湖国家旅游度假区孙武路2999号文创中心1幢408-20 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人赛丽科技(苏州)有限公司当前权利人赛丽科技(苏州)有限公司
发明人张星宇;张轲
代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)代理人黄海霞
摘要
本发明提供了一种集成有天线的波导光电探测器及系统、发送信号的方法,所述集成有天线的波导光电探测器包括光电探测器、N条光波导、天线,所述N为正整数;一衬底上设有所述天线,且所述天线两臂的对称轴位置处设有馈电间隙,所述馈电间隙内设有所述光电探测器;以及所述衬底上形成有N条所述光波导,所述光电探测器连接所述光波导以获取所述光波导上传输的光载射频信号。本发明通过所述天线两臂的对称轴位置处设有馈电间隙,所述馈电间隙内设有所述光电探测器,使得所述天线和所述光电探测器可集成在同一块芯片的同一个器件上,以提高光学集成电路及系统的集成度。

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