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一种半导体产品生产加工用清洗装置

发明专利无效专利

申请号：
CN202010637369.9
IPC分类号：B08B3/10;B08B1/04;B08B13/00;F26B21/00;F26B25/04
申请日期：
2020-07-03
申请人：
顾骏

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种半导体产品生产加工用清洗装置
申请号	CN202010637369.9	申请日期	2020-07-03
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-09	公开/公告号	CN111744874A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;1;/;0;4;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;F;2;6;B;2;5;/;0;4查看分类表>
申请人	顾骏	申请人地址	安徽省芜湖市繁昌县荻港镇南桥老埠头7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	顾骏	当前权利人	顾骏
发明人	顾骏
代理机构	合肥市科融知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈飞

摘要

本发明公开了一种半导体产品生产加工用清洗装置，包括承载底座、清洗单元和滤液单元，所述清洗单元和滤液单元均设于承载底座上，清洗单元包括清洗箱和刷洗组件，刷洗组件设于清洗箱内，该装置结构布局合理，操作简单，使用方便，能够将半导体产品机械化进行清洗，清洁效果好且具备快速烘干功能，大大提高半导体产品生产加工效率及质量，非常具有实用性。

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