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一种用于光刻机的晶片吸盘

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010939978.X
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2020-09-09
  • 申请人:
    咸宁恒舟信息科技有限公司
著录项信息
专利名称一种用于光刻机的晶片吸盘
申请号CN202010939978.X申请日期2020-09-09
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2020-12-11公开/公告号CN112068402A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人咸宁恒舟信息科技有限公司申请人地址
湖北省咸宁市咸宁大道158号(咸宁同惠广场)1幢1单元16层1607号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人咸宁恒舟信息科技有限公司当前权利人咸宁恒舟信息科技有限公司
发明人秦小燕
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人王熙文
摘要
本发明公开了一种用于光刻机的晶片吸盘,支撑台的底面上成型有圆柱槽状的旋转安置槽;旋转安置槽内旋转设置有圆柱状的中心切换块;中心切换块的下侧壁上成型有四个圆周均匀分布的分配孔;中心切换块的下侧壁中心成型有与导气总管连通的中心导气孔;内移动槽的内侧壁上成型有L型状的外限位导气孔;外限位导气孔的上端贯穿设置并且与分配孔配合;底座内成型有四个圆周均匀分布的径向设置的下径向导气管;下径向导气管位于一对相邻的内移动槽之间;下径向导气管上成型若干与上导气孔配合的向上贯穿的下导气孔;下径向导气管内侧端成型有与分配孔配合的向上贯穿的内限位导气孔。

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