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中频磁控溅射镀膜装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110262076.8
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2011-09-06
  • 申请人:
    鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
著录项信息
专利名称中频磁控溅射镀膜装置
申请号CN201110262076.8申请日期2011-09-06
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-03-20公开/公告号CN102978577A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司当前权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人张新倍;黄登聪;彭立全
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种中频磁控溅射镀膜装置,其包括一反应室、位于反应室中央的一转架及设置于反应室腔壁与转架之间的至少一对靶材,每对靶材于反应室内均相应配置有一内衬板及至少一外挡板,该至少一外挡板为可移动的,当该至少一外挡板移动至靶材与转架之间时,所述一对靶材容置于该至少一外挡板和该内衬板所形成的空间内,以防止靶材原子于洗靶时溅射至转架上。本发明中频磁控溅射镀膜装置可使洗靶与真空镀膜能同炉完成,大幅提高了生产效率。

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