线放电加工装置、线放电加工方法、薄板制造方法及半导体晶片制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201080042388.1
IPC分类号：B23H7/02
申请日期：
2010-06-23
申请人：
三菱电机株式会社

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著录项信息

专利名称	线放电加工装置、线放电加工方法、薄板制造方法及半导体晶片制造方法
申请号	CN201080042388.1	申请日期	2010-06-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-04	公开/公告号	CN102548699A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23H7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23H 用电极代替刀具，以电流高度集中的作用在工件上的金属加工；这种加工与其他方式的金属加工的组合（电铸、涂层的电解或电泳生产工艺或其所用的设备入C25D；电解去除加工件材料的工艺入C25F；把沉淀技术用于导电材料形成所要求的电路来制造印刷线路入H05K 3/18）〔4〕 B23H7/00 可兼用于放电加工和电化加工的方法或设备〔4〕 B23H7/02 线切割〔4〕	IPC分类号	B;2;3;H;7;/;0;2查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱电机株式会社	当前权利人	三菱电机株式会社
发明人	三宅英孝;佐藤达志;福岛一彦
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	吕林红

摘要

本发明的线放电加工装置包括：电极丝，其具有多个切割线部，该多个切割线部以相互分开的方式并列设置且分别与被加工物相对；加工用电源，其用于产生脉冲状的加工用电压；多个导电模单元，其与上述多个切割线部电连接，用于向上述多个切割线部与上述被加工物之间施加上述加工用电压；喷嘴，其以使加工液沿着上述多个切割线部并朝向极间的方式自喷出口喷出上述加工液。

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