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一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010283111.3
  • IPC分类号:G01N21/21G01N21/01
  • 申请日期:
    2020-04-11
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法
申请号CN202010283111.3申请日期2020-04-11
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-07-14公开/公告号CN111413282A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/21IPC分类号G01N21/21;G01N21/01查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路10*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人江浩;张松;刘世元;刘佳敏;谷洪刚
代理机构华中科技大学专利中心代理人徐美琳;李智
摘要
本发明公开了一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法,属于光学测量相关技术领域,其中,光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪包括:高速起偏模块、样品调节模块以及实时检偏模块。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的原位校准方法是基于贝塞尔函数无穷级数展开与离散傅里叶变换而实施的,其同时获取了光弹调制器的峰值与静态延迟量,并确保了光弹调制器在全工作范围内的高精度与高灵敏度性能。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的测量方法是基于双光弹调制与空间分光解调而开展的,能够在微秒级时间分辨率下实现样品穆勒矩阵的原位与高精度测量。得益于穆勒矩阵的高时间分辨率获取,本发明可用于快速反应过程中材料动态光学属性的表征。

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