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一种延长单晶炉真空泵寿命的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910111783.X
IPC分类号：C30B15/00
申请日期：
2009-05-11
申请人：
南安市三晶阳光电力有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种延长单晶炉真空泵寿命的方法
申请号	CN200910111783.X	申请日期	2009-05-11
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2010-05-19	公开/公告号	CN101709503A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	南安市三晶阳光电力有限公司	申请人地址	福建省南安市霞美镇光电信息产业基地变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南安市三晶阳光电力有限公司	当前权利人	南安市三晶阳光电力有限公司
发明人	南毅;马殿军;张伟娜;郑智雄;林霞;胡满根
代理机构	厦门市首创君合专利事务所有限公司	代理人	张松亭

摘要

本发明涉及一种延长单晶炉真空泵寿命的方法。本发明的方法是在真空泵和炉室之间的真空抽气管道上安置一个油过滤器，过滤掉气流从炉室中携带出的各种杂质。当气流携带各种杂质从炉室离开进入真空泵之前，先经油过滤器将杂质过滤，就不会危害到真空泵油，也就相应提高了真空泵的使用寿命。

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