分布反射型多层膜镜的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN99800571.1
IPC分类号：--
申请日期：
1999-02-09
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	分布反射型多层膜镜的制造方法
申请号	CN99800571.1	申请日期	1999-02-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-08-16	公开/公告号	CN1263602
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	下田达也;金子丈夫;宫下悟
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邰红;杨丽琴

摘要

在折射率不同的复数的薄膜102，103进行叠层构成的分布反射型多层膜镜的制造方法中，通过液相成膜法形成前述薄膜(102，103)。液相成膜法包括将形成薄膜的薄膜材料涂敷的工序，和将涂敷的前述薄膜材料固化的工序，作为液相成膜法采用喷墨方式。可以简便且在短时间内以微细的排列图案形成薄膜，可以得到高精密且可靠性高的叠层膜，容易控制分布反射型多层膜镜的膜厚和反射率等反射特性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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