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酸性钼铝钼蚀刻液制备系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220049284.X
  • IPC分类号:C23F1/26;C23F1/20
  • 申请日期:
    2012-02-16
  • 申请人:
    江阴润玛电子材料股份有限公司
著录项信息
专利名称酸性钼铝钼蚀刻液制备系统
申请号CN201220049284.X申请日期2012-02-16
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23F1/26IPC分类号C;2;3;F;1;/;2;6;;;C;2;3;F;1;/;2;0查看分类表>
申请人江阴润玛电子材料股份有限公司申请人地址
江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江阴润玛电子材料股份有限公司当前权利人江阴润玛电子材料股份有限公司
发明人沈翠芬;戈士勇;盛建伟
代理机构江阴市同盛专利事务所代理人唐纫兰;曾丹
摘要
本实用新型涉及一种酸性钼铝钼蚀刻液制备系统,所述制备系统包括磷酸储罐(1)、醋酸储罐(2)、硝酸储罐(3)、第一阳离子交换树脂罐(4)、第二阳离子交换树脂罐(5)、第三阳离子交换树脂罐(6)、混合罐(7)、隔膜泵(8)、超滤装置(9)和成品罐(10)。本实用新型在磷酸、醋酸、硝酸混合之前,先通过离子交换树脂进行处理,混合后再经过超滤膜进行超滤,使得蚀刻液颗粒度小,颗粒杂质含量少、纯度高。

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