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一种实现高电压集成CMOS器件的器件结构和制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510332958.5
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2015-06-15
  • 申请人:
    上海新储集成电路有限公司
著录项信息
专利名称一种实现高电压集成CMOS器件的器件结构和制备方法
申请号CN201510332958.5申请日期2015-06-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-11-25公开/公告号CN105097697A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人上海新储集成电路有限公司申请人地址
上海市金山区亭卫公路6505号2幢8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海新储集成电路有限公司当前权利人上海新储集成电路有限公司
发明人景蔚亮;陈邦明
代理机构上海申新律师事务所代理人吴俊
摘要
本发明涉及半导体器件制作技术领域,具体涉及一种实现高电压集成CMOS器件的器件结构和制备方法,本发明通过深沟槽刻蚀工艺形成一种CMOS器件结构,实现了在先进工艺下无法实现高压驱动晶体管的难题,利用深沟槽隔离工艺实现立体栅结构晶体管,在先进工艺下增加了晶体管的实际沟道长度和栅绝缘层厚度,从而使晶体管能够在较高电压下正常工作,增强其电压驱动能力。本发明利用深沟槽隔离工艺实现高压CMOS器件的方法兼容标准CMOS工艺,工艺步骤简单,成本较低,面积小,可实现先进CMOS工艺集成高电压驱动的功能。

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