改性羟基萘酚醛清漆树脂、改性羟基萘酚醛清漆树脂的制造方法、感光性组合物、抗蚀材料及涂膜

发明专利有效专利

申请号：
CN201480051789.1
IPC分类号：C08G8/28;G03F7/039
申请日期：
2014-09-11
申请人：
DIC株式会社

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专利名称	改性羟基萘酚醛清漆树脂、改性羟基萘酚醛清漆树脂的制造方法、感光性组合物、抗蚀材料及涂膜
申请号	CN201480051789.1	申请日期	2014-09-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-05-04	公开/公告号	CN105555820A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G8/28 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G8/00 醛或酮只与酚的缩聚物〔2〕 C08G8/28 化学改性的缩聚物〔2〕	IPC分类号	C;0;8;G;8;/;2;8;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9查看分类表>
申请人	DIC株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	DIC株式会社	当前权利人	DIC株式会社
发明人	今田知之;佐藤勇介
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明的目的在于提供光灵敏度、分辨率、碱显影性高且耐热性、耐吸湿性也优异的、适于感光性组合物和抗蚀材料的改性羟基萘酚醛清漆树脂，提供一种改性羟基萘酚醛清漆树脂，其以下述结构式(1)所示的结构部位(I)(式中，R1为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，m为1或2。R2各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者。)作为重复单元，树脂中存在的R1中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基。

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