传感器元件及红外线传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120051689.2
IPC分类号：G01J5/12;H01L27/16;H01L21/82
申请日期：
2011-02-28
申请人：
罗姆股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	传感器元件及红外线传感器
申请号	CN201120051689.2	申请日期	2011-02-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J5/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J5/00 辐射高温测定法 G01J5/10 用电辐射检测器 G01J5/12 用热电元件，例如热电偶	IPC分类号	G;0;1;J;5;/;1;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2查看分类表>
申请人	罗姆股份有限公司	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗姆股份有限公司	当前权利人	罗姆股份有限公司
发明人	仲谷吾郎
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	刘建

摘要

本实用新型提供一种传感器元件及红外线传感器，其具备：半导体基板；薄膜状的热电元件，其设置在所述半导体基板上并由钛酸锆酸铅构成；覆盖膜，其覆盖所述热电元件，且其最表面构成红外线的受光面；腔体，其在所述半导体基板的与所述热电元件相对的部分，形成从所述半导体基板的表面凹陷的形状，用于将所述热电元件与所述半导体基板热分离。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供