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真空反应腔室进出料的传送设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220445786.4
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L31/18;C23C16/54
  • 申请日期:
    2012-09-04
  • 申请人:
    青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
著录项信息
专利名称真空反应腔室进出料的传送设备
申请号CN201220445786.4申请日期2012-09-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人青岛赛瑞达电子装备股份有限公司申请人地址
山东省青岛市李沧区铜川路10号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人青岛赛瑞达电子装备股份有限公司当前权利人青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
发明人李丙科
代理机构山东清泰律师事务所代理人宁燕
摘要
本实用新型提供了一种真空反应腔室进出料的传送设备,包括真空反应腔室和至少设有两个可开闭密封件的转换腔室,其中真空反应腔室与转换腔室之间通过一个可开闭密封件连接,转换腔室内设置有可进行同步位移的A传送机构和B传送机构,以及分别与A传送机构、B传送机构相连的驱动系统;其优点在于不但解决了反应时不能进行装片取片的问题,而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题,可以大大提高生产效率、节省人力。

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