冲压件检查装置

1.一种冲压件检查装置，用于检查冲压件的好坏的冲压件检查装置，其特征在于具有具备抓取所述冲压件的机械手而搬运所述冲压件的机器人，
其中，所述机械手具备：
由通过发出正压空气而发射出气块的空气炮而构成的，通过向所述冲压件发射气块来激振所述冲压件的预定部分的激振机构；
检测由所述激振机构引起的所述冲压件的振动状态的振动检测部；
将来自所述振动检测部的检测信号发送到解析装置的发送机，
并且，所述解析装置基于来自所述发送机的所述检测信号，判断所述冲压件的好坏。
2.根据权利要求1所述的冲压件检查装置，其特征在于，
所述机械手具备向所述振动检测部以及所述发送机中的至少一方供电的充电电池，通过所述机器人的驱动，从布置在所述机器人的活动范围的机械手存放架中取出所述机械手，或者所述机械手被存放在所述机械手存放架，
所述机械手存放架具备向所述充电电池进行充电的充电装置。
3.根据权利要求1或2所述的冲压件检查装置，其特征在于，所述激振机构设置在分别距所述机械手的对于所述冲压件的多个抓取位置相离大致相同距离的位置。
4.根据权利要求1或2所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备驱动设置在所述机械手的用于吸住而抓取所述冲压件的真空吸盘的气源，
并且，通过所述气源驱动所述激振机构。
5.根据权利要求3所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备驱动设置在所述机械手的用于吸住而抓取所述冲压件的真空吸盘的气源，
并且，通过所述气源驱动所述激振机构。
6.根据权利要求1或2所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备存储记录来自所述振动检测部的所述检测信号的数据记录器，所述数据记录器设置在所述机械手上，所述发送机将存储记录在所述数据记录器的所述检测信号无线发送到所述解析装置。
7.根据权利要求3所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备存储记录来自所述振动检测部的所述检测信号的数据记录器，所述数据记录器设置在所述机械手上，所述发送机将存储记录在所述数据记录器的所述检测信号无线发送到所述解析装置。
8.根据权利要求4所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备存储记录来自所述振动检测部的所述检测信号的数据记录器，所述数据记录器设置在所述机械手上，所述发送机将存储记录在所述数据记录器的所述检测信号无线发送到所述解析装置。
9.根据权利要求5所述的冲压件检查装置，其特征在于还具备存储记录来自所述振动检测部的所述检测信号的数据记录器，所述数据记录器设置在所述机械手上，所述发送机将存储记录在所述数据记录器的所述检测信号无线发送到所述解析装置。

冲压件检查装置\n技术领域\n[0001] 本发明涉及一种检查冲压件的好坏的冲压件检查装置，尤其涉及一种设置在具备卸垛送料部(Destack Feeder)、冲压成型部、堆垛部(palletizer)的冲压生产线上的冲压件检查装置。\n背景技术\n[0002] 目前，汽车等的车体是通过多工位压力加工机或串联式冲压加工机等将钢铁或铝等板材(工件)冲压加工(塑性加工)成具有复杂的凹凸的曲面形状等而形成的。这样的冲压件通过利用多个模具进行的多次冲压加工，形成为逐渐接近最终形状。因此，相比用一次冲压加工形成最终形状的情况，分割加工工序可以缩短加工时间，因此能够提高生产效率。\n[0003] 在如此地进行多次冲压加工时，需要从一个冲压加工连续地转移(约3秒)到另一个冲压加工，因此难以设置安排在哪个时机且花多长时间来检查冲压件中是否有裂纹的步骤。因此，需要重新研究检查方法和检查时机等，以缩短检查冲压件的好坏时所需的时间。\n[0004] 作为检查冲压件的好坏(优良)的检查装置，例如可从专利文献1所记载的技术中了解。专利文献1所记载的技术为，具备产生超声波的发送探针以及接收超声波的接收探针，并将这些各个探针移动到被检查体(检查对象的冲压件)的上方。各个探针以预定的扫描节距(scanning pitch)在被检查体的上方往返地移动，然后用红外线摄像机和闪光装置拍摄裂纹的形状和大小，并基于此来判断被检查体的好坏。\n[0005] 但是，在上述的记载于专利文献1中的检查装置中，通过以预定的扫描节距在被检查体的上方往返地移动而进行依据超声波的检查，然后基于红外线摄像机的拍摄结果判断被检查体的好坏。因此，判断好坏时耗费时间，尤其需要用于检查的各种装置(各探针、移动各探针的驱动机构、红外线摄像机、闪光装置等)。因此，不仅难以应用在多工位压力加工机等机器上，而且还存在使检查装置大型化的问题。\n[0006] 专利文献1：日本特开2006-170684号公报(图1、图2)\n发明内容\n[0007] 本发明的目的在于提供一种能够在短时间内检查冲压件，并且可使应用于检查冲压件的装置小型化的冲压件检查装置。\n[0008] 本发明的冲压件检查装置为用于检查冲压件的好坏的冲压件检查装置，其特征在于冲压件检查装置具有具备抓取所述冲压件的机械手而搬运所述冲压件的机器人。其中，所述机械手具备：激振所述冲压件的激振机构；检测由所述激振机构引起的所述冲压件的振动状态的振动检测部；将来自所述振动检测部的检测信号发送到解析装置的发送机。并且，所述解析装置基于来自所述发送机的所述检测信号，判断所述冲压件的好坏。\n[0009] 本发明的冲压件检查装置，其特征在于，所述机械手具备向所述振动检测部以及所述发送机中的至少一方供电的充电电池。并且，通过所述机器人的驱动，从布置在所述机器人的活动范围的机械手存放架中取出所述机械手，或者所述机械手被存放在机械手存放架。所述机械手存放架具备向所述充电电池进行充电的充电装置。\n[0010] 本发明的冲压件检查装置，其特征在于，所述激振机构设置在分别距所述机械手的对于所述冲压件的多个抓取位置相离大致相同距离的位置。\n[0011] 本发明的冲压件检查装置，其特征在于还具备驱动设置在所述机械手的用于吸住而抓取所述冲压件的真空吸盘的气源。并且，通过所述气源驱动所述激振机构。\n[0012] 本发明的冲压件检查装置，其特征在于还具备存储记录来自所述振动检测部的所述检测信号的数据记录器，所述数据记录器设置在所述机械手上。并且，所述发送机将存储记录在所述数据记录器的所述检测信号无线发送到所述解析装置。\n[0013] 根据本发明，在安装在传送冲压件的机器人的机械手上安装：激振冲压件的激振机构；检测由激振机构引起的冲压件的振动状态的振动检测部；将来自所述振动检测部的检测信号发送到解析装置的发送机。并且，解析装置基于来自发送机的检测信号，判断所述冲压件的好坏。由此，可由解析装置在搬运冲压件的短时间内，依据与该冲压件的好坏相关的检测信号来判断冲压件的好坏。并且，用在检查冲压件的装置可以由可安装在机械手的小型装置构成，从而能够实现检查装置的小型化。\n[0014] 根据本发明，通过机器人的驱动，从布置在机器人的活动范围内的机械手存放架中取出机械手，或者机械手被存放在机械手存放架，并且，机械手存放架具备向充电电池进行充电的充电装置，因此，通过机器人的驱动，可自动地向充电电池进行充电，或者换掉完成充电的机械手。\n[0015] 根据本发明，激振机构设置在分别距机械手的对于冲压件的多个抓取位置相离大致相同距离的位置。由此，通过激振机构使冲压件处于良好的激振状态。\n[0016] 根据本发明，还具备驱动设置在机械手的用于吸住而抓取冲压件的真空吸盘的气源，并且，通过气源驱动激振机构。由此无需另设新的用于驱动激振机构的驱动机构。因此，检查装置得到简化，从而能够抑制成本增长，并且可抑制检查装置的大型化。\n附图说明\n[0017] 图1是示出冲压生产线的一例的立体图；\n[0018] 图2是示出从上方观察图1的堆垛部的图；\n[0019] 图3是说明堆垛机器人的详细构造的说明图；\n[0020] 图4的(a)、(b)是说明机械手的详细构造的说明图；\n[0021] 图5是说明存放机械手的机械手存放架的说明图；\n[0022] 图6是说明冲压件检查装置的操作的流程图；\n[0023] 图7是说明根据第二实施方式的机械手的说明图；\n[0024] 图8是说明根据第三实施方式的机械手的说明图。\n[0025] 符号说明：10为多工位冲压生产线(冲压生产线)，20为卸垛送料部，30为冲压成型部，40为堆垛部，42为托盘，50为堆垛机器人(机器人，冲压件检查装置)，54为第二臂部，56c为气泵(气源)，60为机械手(冲压件检查装置)，61为主体部(冲压件检查装置)，\n62为第一真空吸盘(真空吸盘，冲压件检查装置)，63为第二真空吸盘(真空吸盘，冲压件检查装置)，64为激振机构(冲压件检查装置)，65为振动检测传感器(振动检测部，冲压件检查装置)，67为数据记录器(冲压件检查装置)，68为发送机(冲压件检查装置)，69为充电电池(冲压件检查装置)，70为机械手存放架，73为充电装置，81为解析装置(冲压件检查装置)，W为成品工件(冲压件)。\n具体实施方式\n[0026] 以下，参照附图来详细说明本发明的第一实施方式。\n[0027] 图1是示出冲压生产线的一例的立体图，图2是从上部观察图1的堆垛部的图，图\n3是说明堆垛机器人的详细构造的说明图，图4的(a)、(b)是说明机械手的详细构造的说明图，图5是说明存放机械手的机械手存放架的说明图。\n[0028] 如图1所示，作为冲压生产线的多工位冲压生产线10根据冲压件的形状等在工厂等的室内被并列地设置成多排，并在供应加工前的钢板的一侧(图中左侧)布置卸垛送料部20。在该卸垛送料部20中，一张一张地分离堆叠在一起的钢板(工件)21，并使分离的钢板21定位成朝向其后的冲压成型部30。\n[0029] 冲压成型部30构成为形成三维多工位冲压且执行四个冲压工序。即，在工厂等的地面FL，从卸垛送料部20侧开始依次等间距地并排设置第一固定模具31a、第二固定模具\n31b、第三固定模具31c、第四固定模具31d。并且，在冲压成型部30的主体部32，面向各个固定模具31a～31d，依次等间距地并排设置第一升降模具33a、第二升降模具33b、第三升降模具33c、第四升降模具33d。各升降模具33a～33d通过设置在主体部32的内部的联动驱动机构(未图示)，在预定的时机(例如每三秒)进行升降。\n[0030] 各个固定模具31a～31d以及各个升降模具33a～33d构成为，随着各个第一模具31a、33a向各个第四模具31d、33d，逐渐接近最终形状。即，钢板21被冲压加工为，经过各个第一模具31a、33a到各个第四模具31d、33d而逐渐接近最终形状。\n[0031] 在冲压成型部30中设置有传送机构34，该传送机构34与各个升降模具33a～33d的升降动作同步动作，由此将钢板21连续地移动至下一步的冲压工序。该传送机构34与各个升降模具33a～33d类似地，通过设置在主体部32的内部的联动驱动机构等在预定的时机(例如每三秒)驱动，由此传送钢板21。\n[0032] 在冲压成型部30的各第四模具31d、33d的附近设置有工件搬运部35，在该工件搬运部35上能够放置经过了四个冲压工序的钢板21(以下称为成品工件W)。在此，通过传送机构34的驱动向工件搬运部35放置成品工件W。在工件搬运部35的附近还设置有搬运输送机36，该搬运输送机36将放置在工件搬运部35的成品工件W搬运到下一步的工序中。搬运输送机36设置于各个堆垛机器人50的活动范围内，通过各个堆垛机器人50，可容易地拿出放置于输送机36上的成品工件W。\n[0033] 在冲压成型部30的搬运出成品工件W的一侧(图中右侧)，即在搬运输送机36侧布置有堆垛部40。堆垛部40设置有沿着冲压成型部30的宽度方向分开布置的一对托盘输送机41，在各个托盘输送机41上放置有装载成品工件W的多个托盘42。\n[0034] 如图2所示，在一对托盘输送机41之间设置有四个堆垛机器人(机器人)50，各个堆垛机器人50被分成两个为一组，两组分别布置在一侧的托盘输送机41和另一侧的托盘输送机41的附近。各个堆垛机器人50沿着固定在地面FL的轨道R移动，从而能够在较宽的范围内移动。\n[0035] 在堆垛部40的一对托盘输送机41之间，在各个堆垛机器人50的活动范围内布置机械手存放架70。在机械手存放架70中装载着各个堆垛机器人50的机械手60，各个堆垛机器人50在预定的时机，自动地将机械手60存放在机械手存放架70中，或者从机械手存放架70中取出机械手60。\n[0036] 如图3所示，各个堆垛机器人50具备：可自由移动地设置于轨道R上的滑动部51；\n可自由转动地设置于滑动部51的主体部52。而且，第一臂部53的基端侧(前端侧的相反侧)可自由转动地连接于主体部52，第二臂部(臂)54的基端侧可自由转动地连接于第一臂部53的前端侧。并且，安装插座部55的基端侧可自由转动地连接于第二臂部54的前端侧，并且安装插座部55的前端侧被固定。\n[0037] 安装插座部55设置有空气供排插座55a，在该空气供排插座55a连接有设置在机械手60的主体部61的基端侧的插座部61a。在此，如图1、图3所示，各个堆垛机器人50通过设置在多工位冲压生产线10的附近的控制器80来驱动、控制。\n[0038] 空气供排机构56固定在地面FL，空气供排插座55a通过负压空气配管AC1及正压空气配管AC2连接于该空气供排机构56。空气供排机构56具备：产生负压空气的负压空气产生部56a；产生高压(正压)空气的高压空气产生部56b；生成各个空气产生部56a、\n56b的气压的通用气泵(空气源)56c；可切换各个空气产生部56a、56b到各个空气配管AC1、AC2的连通状态的电磁阀部56d。这些各个空气产生部56a、56b、气泵56c以及电磁阀部56d，也通过控制器80来驱动、控制。\n[0039] 图4所示的机械手60通过安装插座部55安装到堆垛机器人50的第二臂部54的前端部。机械手60作为抓取冲压件，即成品工件W的机构，具备形成为大致圆柱形状的棒状的主体部61。在此，相比通常使用的机械手，机械手60附加有激振机构64、振动检测传感器65、电气部件箱66以及充电电池69。这些激振机构64、振动检测传感器65、电气部件箱66以及充电电池69都是可以小型化的部件，从而不会使机械手60变得大型化。\n[0040] 主体部61的基端侧连接于安装插座部55，在主体部61的基端侧设置有连接于空气供排插座55a的插座部61a。在沿着主体部61的长度方向的前端侧及基端侧，分别设置有第一真空吸盘62和第二真空吸盘63。每个真空吸盘62、63形成为相同，通过向各个真空吸盘62、63供给负压空气，由此吸住(抓取)成品工件W。\n[0041] 各个真空吸盘62、63分别通过支撑销62a、63a而被支撑。如图4(b)所示，各个真空吸盘62、63通过各个支撑销62a、63a，隔着主体部61且沿着主体部61的长度方向以预定间隔布置。\n[0042] 在各个真空吸盘62、63与插座部61a之间，通过各个支撑销62a、63a设置有负压空气配管AC3。负压空气配管AC3的一端侧通过插座部61a以及空气供排插座55a而连接于负压空气配管AC1(参照图3)，负压空气配管AC3的另一端侧分支到各个真空吸盘62、63侧而连接于各个支撑销62a、63a。在此，各个支撑销62a、63a为中空形状，各个支撑销62a、\n63a的中空部分(未图示)连接于各个真空吸盘62、63的内侧。即，各个真空吸盘62、63通过空气供排机构56的电磁阀部56d，连接于负压空气产生部56a。\n[0043] 在沿着主体部61的长度方向的各个真空吸盘62、63之间，且在沿着主体部61的宽度方向的第一真空吸盘62侧，设置有对由各个真空吸盘62、63抓取的成品工件W的预定地方实施振荡的激振机构64。激振机构64设置在从各个真空吸盘62、63双方相离大致相等距离的位置，即从机械手60抓取成品工件W的位置相离大致相等距离的位置，并且通过固定销64a牢固地固定在主体部61。激振机构64由通过瞬间发出高压空气而发射出气块的空气炮构成，并且从激振机构64连续地向成品工件W发射气块，以使成品工件W的预定地方发生激振(振动)。\n[0044] 激振机构64连接于正压空气配管AC4的另一端侧。正压空气配管AC4的一端侧通过插座部61a以及空气供排插座55a连接于正压空气配管AC2(参照图3)，即，激振机构\n64通过空气供排机构56的电磁阀部56d，连接于高压空气产生部56b。\n[0045] 在沿着主体部61的长度方向的激振机构64和第二真空吸盘63之间，且在沿着主体部61的宽度方向的激振机构64侧，设置有检测由激振机构64的激振(振动)引起的成品工件W的振动状态(位移量)的振动检测传感器(振动检测部)65。振动检测传感器65通过固定销65a，牢固地固定于主体部61。振动检测传感器65构成为向成品工件W照射红外线激光的同时接收其反射光。并且，将从照射红外线激光到接收反射光所花的时间作为检测信号，并通过电气配线EW1将该检测信号输出到数据记录器67。\n[0046] 在此，激振机构64及振动检测传感器65设置在堆垛机器人50的第二臂部54的前端侧。由此，成品工件W及振动检测传感器65与来自冲压成型部30(参照图1)等的振动(噪音)同步振动，因此容易相对地削减不需要的噪音。据此，振动检测传感器65可以高精度地检测成品工件W的振动状态。即，通过堆垛机器人50的关节部分等，缓冲从地面FL传递的由冲压成型部30等产生的振动。\n[0047] 在沿着主体部61的长度方向的振动检测传感器65和插座部61a之间，设置有电气部件箱66。该电气部件箱66通过一对固定销66a，牢固地固定在主体部61。在电气部件箱66的内部容纳有存储记录由振动检测传感器65发送过来的检测信号(激光发射时间数据)的数据记录器67；将存储记录在该数据记录器67上的检测信号无线发送(无线LAN)到设置在控制器80的解析装置81(参照图3)的发送机68。其中，电气部件箱66的内部还容纳有用于驱动振动检测传感器65的驱动电路等(未图示)的电气部件。如此，通过无线发送检测信号，因而无需繁琐的布线作业等，可提高作业效率，同时也不会发生缠住作业者的脚等的问题。\n[0048] 在主体部61，在靠近电气部件箱66处设置充电电池69。充电电气69由诸如锂离子电池等的二次电池形成，充电电池69通过驱动设置在电气部件箱66的内部的电气部件，即通过驱动电路来驱动振动检测传感器65、数据记录器67、发送机68等。\n[0049] 如图3所示，控制器80具备解析装置81。解析装置81基于由机械手60的发送机68以无线方式发送的激光反射时间数据，判断成品工件W中是否存在裂纹等缺陷，即判断成品工件W的好坏。具体地，解析装置81中预先存储涉及成品工件W的模型数据(理想值)，执行比较该模型数据和此次检测出的数据的比较处理。\n[0050] 并且，当与模型数据的比较结果为差异较大时，视为成品工件W中有裂纹等而判断为次品。另外，当与模型数据的比较结果有少许偏差，但是差异不大，且判断为在误差范围内时，视为成品工件W没有裂纹等而判断为佳品。\n[0051] 在此，虽然在本实施方式中示出了以一个控制器80控制一个多工位冲压生产线\n10的情况，但是也可以由一个控制器80统一地控制多个多工位冲压生产线(未图示)。\n[0052] 在此，由堆垛机器人50、机械手60的主体部61、各个真空吸盘62、63，激振机构\n64、振动检测传感器65、数据记录器67、发送机68、充电电池69以及控制器80的解析装置\n81来构成本发明的冲压件检查装置。\n[0053] 如图5所示，机械手存放架70具备：存放多个机械手60(图中示出六个)的存放箱71；设置在存放箱71内，对应于能够存放的机械手60的数量的多个感应式充电器72；设置在存放箱71的外侧，通过电气配线EW2电气连接到各个感应式充电器72的充电装置73。\n机械手60的充电电池69以非接触的状态布置在靠近感应式充电器72之处，据此无需通过电气配线等也能对充电电池69进行充电。\n[0054] 各个堆垛机器人50(参照图2)分别通过控制器80来驱动、控制，从而可自动地从机械手存放架70取出完成充电的机械手60，或者用完机械手60之后存放到机械手存放架\n70中。此时，各个堆垛机器人50与各个机械手60之间以及各个机械手60与机械手存放架70之间没有电气配线。由此，通过各个堆垛机器人50的驱动控制，可容易地交换机械手\n60。\n[0055] 接下来，参照附图来详细说明如上形成的多工位冲压生产线10的冲压件检查装置的操作。图6是示出说明冲压件检查装置的操作的流程图。\n[0056] 在此，本发明的冲压件检查装置在如图1所示的堆垛部40中，在将搬运输送机36上的成品工件W搬运到托盘42的期间(三秒以上)内，在进行该搬运操作的同时进行成品工件W的好坏的判断。即，有效利用将成品工件W从搬运输送机36搬运到托盘42为止的时间。\n[0057] 如图6所示，在步骤S1中，接通多工位冲压生产线10的系统电源，由此冲压件检查装置的操作开始进行。在步骤S2中，控制器80(解析装置81)处于待机状态。接着在步骤S3中，通过由作业者的键盘输入(未图示)，在多工位冲压生产线10上冲压加工的冲压件的信息(工件信息)被输入到控制器80。基于此，机械手的切换指示输入到各个堆垛机器人50。在此，各个堆垛机器人50被驱动控制为选择能够抓取成品工件W的机械手60(参照图2)。其中，在机械手存放架70中存放有对应于各种形状的冲压件的各类机械手，从而可对应于各种形状的冲压件来驱动控制各个堆垛机器人50。\n[0058] 在步骤S4中，各个堆垛机器人50根据控制器80分别被驱动控制，以自动地从机械手存放架70中取出机械手60。在此，各个堆垛机器人50将空气供排插座55a自动地连接到插座部61a。\n[0059] 在步骤S5中，各个堆垛机器人50根据控制器80而移动到基准位置，例如移动到可立即取出搬运输送机36上的成品工件W的位置，然后待机。接着在步骤S6中，以在搬运输送机36上放置了成品工件W的情况作为触发，通过控制器80向一个堆垛机器人50发送指令信号，以取出(抓取)成品工件W。\n[0060] 在步骤S7中，接收指令信号的一个堆垛机器人50根据控制器80而被启动，以使机械手60移动到搬运输送机36的成品工件W处为止，然后将各个真空吸盘62、63按压到成品工件W的预定地方。接着在步骤S8中，通过控制器80来控制空气供排机构56的电磁阀部56d，以使各个负压控制配管AC1、AC3内部根据负压控制产生部56a而成为负压。据此，通过各个真空吸盘62、63来抓取成品工件W。\n[0061] 在步骤S8中被抓取的成品工件W根据基于控制器80的堆垛机器人50的操作，朝一个托盘移动。此时，控制器80同时控制空气供排机构56的电磁阀部56d，且各个正压空气配管AC2、AC4内部根据高压空气产生部56b而瞬间变成高压。于是，从激振机构64发射气块，从而成品工件W的位于激振机构64的正下方部分被激振(步骤S9)。此时，可以发射一次气块，也能以低频率(5～6Hz)发射多次气块。优选地，为了易与噪音(干扰)进行区别，有规律地发射多次气块。\n[0062] 在步骤S10，振动检测传感器65通过控制器80被驱动，由此检测成品工件W的激振部分的位移量。接着，在步骤S10中检测出的检测信号(激光反射时间数据)输出到数据记录器67而临时存储记录于数据记录器67(步骤S11)。然后，进一步在步骤S12中，存储记录在数据记录器67的检测信号从发送机69无线发送(无线LAN)到解析装置81。\n[0063] 在解析装置81中进行此次检测到的数据(检测信号)和模型数据的比较处理，据此判断成品工件W的好坏(判断是否有裂痕等)，从而结束对成品工件W的检查。\n[0064] 然后，在解析装置81中被判断为次品的成品工件W通过由控制器80的堆垛机器人50的驱动控制，搬运到次品用的托盘42(没有详细的图示)。其后，通过控制空气供排机构56的电磁阀部56d，停止从负压空气产生部56a向各个负压空气配管AC1、AC3的负压的供给，据此松开被判断为次品的成品工件W。另外，在解析装置81中被判断为佳品的成品工件W通过由控制器80的堆垛机器人50的驱动控制，搬运到佳品用的托盘42(没有详细的图示)。其后，通过控制空气供排机构56的电磁阀部56d，停止从负压空气产生部56a向各个负压空气配管AC1、AC3的负压的供给，据此松开被判断为佳品的成品工件W(步骤S14)。\n[0065] 接着在步骤S15中，判断基于多工位冲压生产线10的一系列作业是否已结束，当冲压加工没有结束时(判断为否)，返回到步骤S5，准备进行接下来的成品工件W的搬运以及检查，多工位机器人50暂且处于待机状态。另外，当一系列的作业结束时(判断为是)返回到步骤S2，控制器80(堆垛机器人50)处于待机装置，等待输入接下来进行冲压加工的其他形状的工件信息。\n[0066] 如上所述，根据第一实施方式的冲压件检查装置，在将成品工件W搬运到托盘42的堆垛机器人50上安装机械手60，并在机械手60的主体部61上安装：吸住成品工件W的各个真空吸盘62、63；激振成品工件W的激振机构64；检测基于激振机构64的成品工件W的振动状态的振动检测传感器65；存储记录来自振动检测传感器65的检测信号的数据记录器67；将存储记录在数据记录器67上的检测信号无线发送到解析装置81的发送机68；\n驱动振动检测传感器65、数据记录器67、发送机68的充电电池69。其中，解析装置81基于来自发送机68的检测信号来判断成品工件W的好坏。\n[0067] 由此，可以在将成品工件W搬运到托盘42的短时间内，基于与该成品工件W的好坏相关的检测信号，由解析装置81判断成品工件W的好坏。并且，用于检查成品工件W的装置(激振机构64等)能够由可安装在机械手60的小型装置构成，从而可以实现检查装置的小型化。\n[0068] 并且，根据第一实施方式的冲压件检查装置，通过堆垛机器人50的驱动，可从布置在堆垛机器人50的活动范围内的机械手存放架70中取出机械手60或者将机械手60存放到机械手存放架70，而且，机械手存放架70具备对充电电池69进行充电的充电装置73，因此通过堆垛机器人50的驱动，可自动地使充电电池69充电，或者换掉已完成充电的机械手60。\n[0069] 进一步，根据第一实施方式的冲压件检查装置，激振机构64设置在分别离各个真空吸盘62、63大致相同距离的位置，因此通过激振机构64可使成品工件W处于良好的激振状态。即，加大激振振幅，可通过振动检测传感器65容易地检测，进而可提高判断成品工件W的好坏的精度。\n[0070] 并且，根据第一实施方式的冲压件检查装置，激振机构64由驱动各个真空吸盘\n62、63的气泵56c来驱动，由此无需另设新的用于驱动激振机构64的驱动机构。因此，检查装置得到简化，能够抑制成本增长，且可抑制检查装置的大型化。\n[0071] 接着，参照附图详细说明本发明的第二实施方式。在此，与上述的第一实施方式具有相同功能的部分采用同样的标记，并且省略其详细的说明。\n[0072] 图7是示出说明根据第二实施方式的机械手的说明图。第二实施方式相比上述的第一实施方式，不同点仅在于机械手的形状。\n[0073] 如图7所示，根据第二实施方式的机械手90为，用于抓取位于主体部61的基端侧的宽度较窄、位于主体部61的前端侧的宽度较宽的成品工件W2的机械手。机械手90从主体部61的前端侧开始具备第一真空吸盘91、第二真空吸盘92以及第三真空吸盘93，以用三个点抓取成品工件W2。\n[0074] 第一真空吸盘91以及第二真空吸盘92隔着主体部61面对面地布置在沿着主体部61的长度方向大致相同的位置上。第一真空吸盘91的支撑销91a形成为大致L字形，第二真空吸盘92的支撑销92a形成为直线形状。并且，第三真空吸盘93布置在沿着主体部61的宽度方向的第一真空吸盘91侧，其支撑销93a形成为直线形状。\n[0075] 激振机构64布置在第一真空吸盘91与第三真空吸盘93之间，且设置在分别距真空吸盘91、92、93相离大致相同距离的位置。振动检测传感器65以横穿固定销64a的方式固定在激振机构64的固定销64a，据此振动检测传感器65布置在靠近激振机构64之处，进而提高振动检测传感器65的检测精度。\n[0076] 如上形成的第二实施方式也起到与上述的第一实施方式相同的作用效果。\n[0077] 接着，参照附图详细说明本发明的第三实施方式。在此，与上述的第一实施方式具有相同功能的部分采用同样的标记，并且省略其详细的说明。\n[0078] 图8是示出说明根据第三实施方式的机械手的说明图。第三实施方式相比上述的第一实施方式，不同点仅在于机械手的形状。\n[0079] 如图8所示，第三实施方式的机械手100为，用于抓取具备多个冲孔(punching)部h1、h2、h3的复杂形状的成品工件W3的机械手。机械手100具备大致呈T字形状的主体部101，在主体部101的大致中间部分设有插座部61a。在主体部101的隔着插座部61a的一侧(图中右侧)，从其端部开始设置第一真空吸盘102、第二真空吸盘103以及第三真空吸盘104。另外，在主体部101的隔着插座部61a的另一侧(图中左侧)，在其端部设置第四真空吸盘105。即，机械手100避开成品工件W3的冲孔部h1、h2、h3，用四个点进行抓取。\n[0080] 第一真空吸盘102以及第二真空吸盘103隔着主体部101面对面地布置在沿着主体部101的长度方向大致相同的位置上。第一真空吸盘102的支撑销102a形成为大致L字形，第二真空吸盘103的支撑销103a形成为直线形状。并且，第三真空吸盘104布置在沿着主体部101的宽度方向的第一真空吸盘102侧，其支撑销104a形成为直线形状。而且，第四真空吸盘105布置在沿着主体部101的宽度方向的第二真空吸盘103侧，其支撑销101a形成为大致L字形。\n[0081] 激振机构64布置在第二真空吸盘103与第四真空吸盘105之间的靠近插座部61a之处，且设置在距除了第三真空吸盘104以外的其他真空吸盘102、103、105相离大致相同距离的位置。振动检测传感器65以横穿固定销64a的方式固定在激振机构64的固定销\n64a，据此振动检测传感器65布置在靠近激振机构64之处，进而提高振动检测传感器65的检测精度。\n[0082] 如上形成的第三实施方式也起到与上述的第一实施方式相同的作用效果。\n[0083] 本发明不限于上述各个实施方式，在不脱离其宗旨的范围内可进行多种变更。例如，在上述各实施方式中，作为振荡检测部示例出采用了以照射红外线激光而接收反射光的非接触式的振动检测传感器65的情况，但是本发明不限于此，可以采用具备可动部的接触式的加速度传感器等。并且，作为非接触式，可以使用检测激振部分所产生的声波的麦克风等。总之，只要可以检测出激振部分的振动状态，可采用的方式不限于非接触式/接触式。