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包含可变力分布的键合设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110055004.X
  • IPC分类号:H01L21/603
  • 申请日期:
    2021-01-15
  • 申请人:
    先进科技新加坡有限公司
著录项信息
专利名称包含可变力分布的键合设备
申请号CN202110055004.X申请日期2021-01-15
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-07-20公开/公告号CN113140476A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/603IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;0;3查看分类表>
申请人先进科技新加坡有限公司申请人地址
新加坡义顺7道2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人先进科技新加坡有限公司当前权利人先进科技新加坡有限公司
发明人温名扬;张伟健;张宇赋
代理机构北京申翔知识产权代理有限公司代理人艾晶
摘要
键合设备包括固持元件、固持元件致动器、传感器、控制器以及键合力调节致动器。使用时,所述固持元件固持电子元件,并且所述固持元件由所述固持元件致动器沿一个或多个致动方向移动,以使所述电子元件与基底构件相接触。响应于所述电子元件与所述基底构件之间的接触,所述传感器测量施加在所述固持元件上的反作用力。所述控制器根据所测量的反作用力确定在键合过程中要施加在所述固持元件的致动区域上的键合力,并且所述键合力调节致动器在键合过程中将这些键合力施加在所述固持元件的所述致动区域上,以调节所述电子元件相对于所述基底构件的倾斜。

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