一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉

发明专利有效专利

申请号：
CN201110152472.5
IPC分类号：C23C16/44;C23C16/46;C23C16/455
申请日期：
2011-06-08
申请人：
中南大学;湖南博云新材料股份有限公司

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专利名称	一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉
申请号	CN201110152472.5	申请日期	2011-06-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-10-12	公开/公告号	CN102212800A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/44 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人	中南大学;湖南博云新材料股份有限公司	申请人地址	湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中南大学,湖南博云新材料股份有限公司	当前权利人	中南大学,湖南博云新材料股份有限公司
发明人	邹志强;熊杰;张红波;熊翔;黄伯云
代理机构	长沙市融智专利事务所	代理人	颜勇

摘要

一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，包括炉盖、炉体和炉座，所述炉盖、炉体连接为一体，在所述炉盖、炉体中设有保温罩组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上；在所述炉座上设有三根或六根同圆周均布的立杆式发热体，在所述保温罩内设有与所述发热体数量相匹配的料柱室，所述料柱室上设置有布气环。本发明结构合理、能耗小、产能高，采用内热式多发热体三相平衡组合式结构，炉子结构紧凑节能。有效掌控热梯度，实现相关物理场的耦合，提高CVD质量和效率。采用多层式预热环式旋流供气，提高反应室气氛均匀度。采用独立反应室的多料柱装料，大大扩大炉子产能和提高热效率。适用于制备C/C复合材料刹车盘及炭/陶复合材料环形多工件的增密。

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