激光受激发射损耗三维超分辨分光瞳差动共焦成像方法与装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201410790656.8
IPC分类号：G01B11/24;G01B11/00
申请日期：
2014-12-17
申请人：
北京理工大学

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专利名称	激光受激发射损耗三维超分辨分光瞳差动共焦成像方法与装置
申请号	CN201410790656.8	申请日期	2014-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-01	公开/公告号	CN104482880A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	赵维谦;邱丽荣;王允
代理机构	北京理工正阳知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	唐华

摘要

本发明属于光学精密成像测试技术领域，涉及一种激光受激发射损耗三维超分辨分光瞳差动共焦成像方法与装置。本发明的核心思想是将分光瞳激光差动共焦探测技术和激光受激发射损耗成像技术有机融合，集成了分光瞳差动共焦探测技术的高分辨、高散射抑制特性，通过激光差动共焦技术提高轴向分辨能力，通过受激发射损耗显微技术改善横向分辨能力，继而提高系统的空间分辨力和抗样品散射能力。该装置包括激发激光系统、第一双色镜、四分之一波片、测量物镜、样品、扫描工作台、淬灭激光系统、光束整形系统、第二双色镜、分光瞳差动共焦探测系统及数据处理模块。本发明具有高空间分辨、高散射样品抑制的三维超分辨成像与检测能力，在微纳米技术领域具有广泛的应用前景。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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