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一种信号归一化掩模对准系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201010250440.4
IPC分类号：G03F9/00;G03F7/20
申请日期：
2010-08-11
申请人：
上海微电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种信号归一化掩模对准系统
申请号	CN201010250440.4	申请日期	2010-08-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-03-14	公开/公告号	CN102375351A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	李运锋
代理机构	北京连和连知识产权代理有限公司	代理人	王光辉

摘要

一种用于光刻设备的掩模对准系统，该对准系统包括照明模块、标记模块、投影模块、光强测量模块、位置测量模块、运动控制模块、能量探测模块、对准操作模块。本发明利用能量探测模块获得照明模块输出能量波动，并利用该能量数据对精对准时分支标记原始光强数据进行归一化，在消除照明模块输出能量波动的同时，避免了引入新的误差，提高了精对准的精度。

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