抗蚀剂密合性提高剂和铜配线制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201380014226.0
IPC分类号：C23G1/10;C23F1/00;G03F7/09
申请日期：
2013-02-28
申请人：
长濑化成株式会社

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著录项信息

专利名称	抗蚀剂密合性提高剂和铜配线制造方法
申请号	CN201380014226.0	申请日期	2013-02-28
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-12-24	公开/公告号	CN104246017A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23G1/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23G 电解法除外的化学法金属材料清洗及除油（抛光组合物入C09G；一般洗涤剂入C11D） C23G1/00 用溶液或熔融盐清洗或酸洗金属材料（用有机溶剂入C23G 5/02） C23G1/02 用酸溶液 C23G1/10 其他重金属	IPC分类号	C;2;3;G;1;/;1;0;;;C;2;3;F;1;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;0;9查看分类表>
申请人	长濑化成株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长濑化成株式会社	当前权利人	长濑化成株式会社
发明人	吉崎了;武井瑞树;安江秀国
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	庞东成;褚瑶杨

摘要

本发明涉及一种抗蚀剂密合性提高剂，其含有有机酸1.5重量％～20重量％、氯离子0.0007重量％～0.73重量％、铵离子0.00003重量％～3.7重量％和其余部分的水，且氯离子相对于铵离子的摩尔浓度比在0.1～10的范围；以及涉及一种铜配线制造方法，其中，在铜膜上形成感光性抗蚀膜时，利用该抗蚀剂密合性提高剂对铜膜表面进行处理，然后在铜膜上形成感光性抗蚀膜。由此，感光性抗蚀剂与铜膜表面的密合性变好。

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