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制备纳米氮化硅粉体的系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02138263.8
  • IPC分类号:C01B21/068;B01J19/08
  • 申请日期:
    2002-09-09
  • 申请人:
    张芬红
著录项信息
专利名称制备纳米氮化硅粉体的系统
申请号CN02138263.8申请日期2002-09-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-03-17公开/公告号CN1482059
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B21/068IPC分类号C;0;1;B;2;1;/;0;6;8;;;B;0;1;J;1;9;/;0;8查看分类表>
申请人张芬红申请人地址
安徽省合肥新站区工业园内 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥开尔纳米能源科技股份有限公司当前权利人合肥开尔纳米能源科技股份有限公司
发明人张芬红
代理机构合肥诚兴知识产权代理有限公司代理人汤茂盛
摘要
本发明公开一种采用等离子气相合成方法制备氮化硅纳米材料的生产系统,它包括等离子发生器和气相合成装置,气相合成装置产生的固态Si3N4和HCL进入分离器中,减压分散团聚颗粒,由捕集装置捕集收集成品Si3N4,等离子发生器采用旋转气流、阳极的机械结构及冷却水压缩,形成高速、稳定火焰的离子弧,由载气分配装置向反应室内沿反应室的腔壁自上而下提供环形载气,使产品颗粒未及时长大时被及时输送,由冷却和捕集装置完成Si3N4收集,从而得到纳米氮化硅陶瓷粉体。

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