半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020197748.6
IPC分类号：H05B6/10
申请日期：
2020-02-21
申请人：
辽宁希泰科技有限公司

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著录项信息

专利名称	半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管
申请号	CN202020197748.6	申请日期	2020-02-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B6/10 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B6/00 通过电场、磁场或电磁场加热的（采用微波放射治疗的入A61N 5/02）〔3〕 H05B6/02 感应加热〔3〕 H05B6/10 除炉子外特殊用途的感应加热设备〔3〕	IPC分类号	H;0;5;B;6;/;1;0查看分类表>
申请人	辽宁希泰科技有限公司	申请人地址	辽宁省营口市老边区康意街17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	辽宁希泰科技有限公司	当前权利人	辽宁希泰科技有限公司
发明人	张九朋;肖雅婷
代理机构	沈阳易通专利事务所	代理人	王建男

摘要

本实用新型涉及半导体制作设备领域，半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。本波纹管具有高温环境下使用寿命长、耐腐蚀、动作导向性好的特点，方便波纹管安装对接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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