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用于翘曲度监测的方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110386419.5
IPC分类号：H01L21/66;G01B21/20;G01B21/32
申请日期：
2021-04-12
申请人：
英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于翘曲度监测的方法和装置
申请号	CN202110386419.5	申请日期	2021-04-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-09	公开/公告号	CN113097093A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;1;B;2;1;/;2;0;;;G;0;1;B;2;1;/;3;2查看分类表>
申请人	英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司	申请人地址	四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英特尔产品（成都）有限公司,英特尔公司	当前权利人	英特尔产品（成都）有限公司,英特尔公司
发明人	刘思瑶;张琴
代理机构	北京永新同创知识产权代理有限公司	代理人	林锦辉;刘景峰

摘要

本发明公开了用于翘曲度监测的方法和装置。其中，一种用于翘曲度监测的方法，包括：基于多个半导体器件的翘曲度来确定所述多个半导体器件发生表面贴装技术(SMT)故障的多个量化值；基于所述多个量化值来获得多个模拟值；以及基于所获得的多个模拟值来监测所述多个半导体器件的翘曲度。

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