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链式扩散设备自动送片机构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820216993.6
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/677
申请日期：
2008-11-24
申请人：
常州天合光能有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	链式扩散设备自动送片机构
申请号	CN200820216993.6	申请日期	2008-11-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	常州天合光能有限公司	申请人地址	江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州天合光能有限公司	当前权利人	常州天合光能有限公司
发明人	沈寅;王仁杰;汪钉崇
代理机构	常州市维益专利事务所	代理人	王凌霄

摘要

本实用新型涉及链式扩散设备技术领域，尤其是一种链式扩散设备自动送片机构，包括片栏固定装置、送片轨道以及装载硅片的片栏，片栏坐落在片栏固定装置上，片栏的底部开有片栏开口，片栏开口露出片栏内最下面的一片硅片，送片轨道与该硅片接触，将硅片从片栏中抽出。在低于手动上片的破片率基础上把产能增加到50％，并通过避免人手接触硅片提高最后电池片的转换效率。

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