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一种半导体加工方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202111116544.0
  • IPC分类号:B26D7/04;B28D5/00;H01L21/67;H01L21/677
  • 申请日期:
    2021-09-23
  • 申请人:
    于烁
著录项信息
专利名称一种半导体加工方法及装置
申请号CN202111116544.0申请日期2021-09-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2022-02-15公开/公告号CN114043558A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B26D7/04IPC分类号B;2;6;D;7;/;0;4;;;B;2;8;D;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人于烁申请人地址
吉林省通化市梅河口市庆阳路华府尊邸C5号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人于烁当前权利人于烁
发明人于烁
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种半导体加工装置,包括主体、切割器和放置台,主体一侧顶端嵌合设置有切割器,主体一侧位于切割器下方嵌合设置有放置台,放置台底端与收缩板相互嵌合组合一起,放置台两侧圆柱形状凹槽中凸出部分通过伸缩导杆连接有传动盘,收缩板两侧通过嵌合槽开槽嵌合设置有升降块,升降块一侧底端设置有与传动盘凸出部分螺纹贴合的升降槽凹槽,收缩板前后两端靠近两侧开口设置有延伸槽。通过该装置设置的升降块能够在将半导体原材料放置到放置台上时,通过原材料的重量来迫使放置台进行一定的活动,从而让升降块位移到原材料的上方,然后通过抵块的偏移来对原材料的顶端表面进行抵靠,在因为放置台的收缩来对和抵块之间的原材料进行施力夹持。

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