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一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220391100.8
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/54
  • 申请日期:
    2012-08-08
  • 申请人:
    西安理工大学
著录项信息
专利名称一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置
申请号CN201220391100.8申请日期2012-08-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人西安理工大学申请人地址
陕西省西安市金花南路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安理工大学当前权利人西安理工大学
发明人郑建明;肖继明;袁启龙;李言;章小林;高岗
代理机构西安弘理专利事务所代理人李娜
摘要
一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置,设置在磁控溅射离子镀真空腔中,包括设置在转轴上放置轴承钢球的托盘,所述托盘通过四根拉簧支撑在所述转轴上端的支撑钢球上,所述转轴上水平设有滚轮轴且所述滚轮轴的一端设有滚轮,所述滚轮使所述托盘倾斜,所述转轴在输入轴的驱动下做旋转运动,所述托盘在所述支撑钢球和所述滚轮的作用下作偏摆运动,从而使所述托盘内的轴承钢球同时作公转和自转运动。本实用新型的轴承钢球在真空腔内同时作公转和自转运动,使镀料粒子均匀地溅射到轴承钢球表面,保证了轴承钢球表面镀层的均匀性和性能一致性,提高了轴承钢球镀层的组织结构及机械性能,进而提高了轴承的精度和质量可靠性。

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