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一种沟槽MOSFET功率整流器件

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320071888.9
  • IPC分类号:H01L27/07;H01L29/06
  • 申请日期:
    2013-02-07
  • 申请人:
    上海新进半导体制造有限公司
著录项信息
专利名称一种沟槽MOSFET功率整流器件
申请号CN201320071888.9申请日期2013-02-07
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/07IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;0;7;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人上海新进半导体制造有限公司申请人地址
上海市闵行区紫星路1600号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海新进芯微电子有限公司当前权利人上海新进芯微电子有限公司
发明人龙涛;王乙明;金钟元
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王宝筠
摘要
本实用新型提供了一种沟槽MOSFET功率整流器件,该沟槽MOSFET功率整流器件的外延层包括第一区域和围绕第一区域的第二区域,第一沟槽位于该第一区域,在该外延层的第二区域具有至少一个包围第一沟槽的第二导电类型的终端保护环,所述终端保护环从所述外延层的表面延伸至所述外延层内部,且所述终端保护环的底部的位置低于位于所述外延层第一区域的第一沟槽底部的位置。由于外延层的第二区域围绕第一区域,所以,位于围绕第一沟槽的终端保护环能够将第一沟槽的底部包围,避免第一沟槽承受高电压强度的风险。

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