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LED电极制作方法、LED电极和LED芯片

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710326901.3
  • IPC分类号:H01L21/285;H01L33/00;H01L33/40
  • 申请日期:
    2017-05-10
  • 申请人:
    湘能华磊光电股份有限公司
著录项信息
专利名称LED电极制作方法、LED电极和LED芯片
申请号CN201710326901.3申请日期2017-05-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-09-01公开/公告号CN107123594A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/285IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;8;5;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;L;3;3;/;4;0查看分类表>
申请人湘能华磊光电股份有限公司申请人地址
湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湘能华磊光电股份有限公司当前权利人湘能华磊光电股份有限公司
发明人胡卫
代理机构北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人于淼
摘要
本发明公开了一种LED电极制作方法、LED电极和LED芯片。本发明公开的LED电极制作方法,通过电子束真空蒸发镀膜的方式蒸镀电极,其中,蒸镀电极膜层的先后顺序为Rh、Al、Ti、Pt、Ti、Pt和Au。LED电极蒸镀时,首先蒸镀Rh层,然后蒸镀Al层,形成RhAl反射电极,工艺简单,提高了电极稳定性,同时提高了反射电极反射率,能够制作高发光效率的LED芯片。

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