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一种纳米晶体管TiO<sub>2</sub>光催化薄膜及其制备方法、制备系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202210851779.2
  • IPC分类号:B01J21/06;B01J35/10;C23C14/14;C23C14/35;C25D11/26
  • 申请日期:
    2022-07-19
  • 申请人:
    北京中环康健环保科技有限公司
著录项信息
专利名称一种纳米晶体管TiO<sub>2</sub>光催化薄膜及其制备方法、制备系统
申请号CN202210851779.2申请日期2022-07-19
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-08公开/公告号CN115301220A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01J21/06IPC分类号B;0;1;J;2;1;/;0;6;;;B;0;1;J;3;5;/;1;0;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;5;D;1;1;/;2;6查看分类表>
申请人北京中环康健环保科技有限公司申请人地址
北京市平谷区平谷镇平安街安乐路36号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京中环康健环保科技有限公司当前权利人北京中环康健环保科技有限公司
发明人马铭骏;杨海清;张蒙
代理机构苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张印铎
摘要
本发明涉及光催化薄膜材料制备技术领域,具体是一种纳米晶体管TiO2光催化薄膜及其制备方法、制备系统及喷淋设备,包括制造设备,制造设备一侧设置有安装区域,制造设备的安装区域底部固定有放置台,制造设备另一侧嵌设有控制柜,制造设备的安装区域可升降安装有密封罐体,密封罐体内设置有腔体,放置台闭合腔体开口,放置台上表面和腔体内顶壁共同安装有磁控溅射组件,磁控溅射组件包括极板、磁铁、靶材以及基材,极板、磁铁和靶材位于阴极,基材位于阳极,本发明能够将二氧化钛光催化薄膜的一次性制作完成,提高了二氧化钛光催化薄膜的制作效率,从而提高二氧化钛光催化薄膜的活性、使用寿命和光量子产率。

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