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用于从微电路基材除去含钠物质的方法和组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN01806705.0
IPC分类号：--
申请日期：
2001-03-19
申请人：
马林克罗特·贝克公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于从微电路基材除去含钠物质的方法和组合物
申请号	CN01806705.0	申请日期	2001-03-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-05-14	公开/公告号	CN1418330
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	马林克罗特·贝克公司	申请人地址	美国新泽西州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安万托特性材料股份有限公司	当前权利人	安万托特性材料股份有限公司
发明人	乔治·施瓦茨科夫
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	黄益芬;巫肖南

摘要

一种用于除去含钠物质诸如从微电路基材中除去光致抗蚀剂的方法和组合物，使用了在有机溶剂中的1，2-二氨基环己烷四羧酸。

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