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进样装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021935217.9
  • IPC分类号:G01N27/62
  • 申请日期:
    2020-09-03
  • 申请人:
    合肥晶合集成电路股份有限公司
著录项信息
专利名称进样装置
申请号CN202021935217.9申请日期2020-09-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/62IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;6;2查看分类表>
申请人合肥晶合集成电路股份有限公司申请人地址
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥晶合集成电路股份有限公司当前权利人合肥晶合集成电路股份有限公司
发明人刘波;张雷
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人曹廷廷
摘要
本实用新型提供了一种进样装置,将第二进样部件与第二存储腔室密合,利用第一驱动器及第二进样部件移动,第二进样部件通过移动可从第一存储腔室中将样品自动转移至第二存储腔室中,避免了人工操作导致空气入侵第二存储腔室的风险,提高了第二存储腔室的气密性,降低了第二存储腔室漏气时破坏与之相连的设备中的昂贵零件的风险,进而提高了检测设备精度及寿命。

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