晶圆测试装置及晶圆测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110081568.0
IPC分类号：G01R31/28;B08B1/00
申请日期：
2021-01-21
申请人：
中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））

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著录项信息

专利名称	晶圆测试装置及晶圆测试方法
申请号	CN202110081568.0	申请日期	2021-01-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-08	公开/公告号	CN112924847A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;B;0;8;B;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））	申请人地址	广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））	当前权利人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
发明人	唐莎;滕雷;罗军;唐锐;王小强;罗宏伟
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	郭凤杰

摘要

本申请涉及一种晶圆测试装置及晶圆测试方法。该晶圆测试装置包括：立柱；探针台，设于立柱，探针台上设置有探针且开设有测试窗口；清洁台，通过替换机构与立柱连接；以及样品台，通过替换机构与立柱连接，样品台设置在探针台和清洁台之间；其中，替换机构用于带动清洁台或样品台移入测试窗口，以使清洁台上的清洁件或样品台上的晶圆与探针接触。上述晶圆测试装置，可在晶圆测试过程中快速地完成清洁台和样品台的相互替换，从而有利于缩短探针的清洁时间，提高晶圆上芯片的探测效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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